ディジタルロックインアンプLI5600シリーズ
¥660,000 ～（税抜）
概要
高速応答・広帯域・高安定度
- 用途にあわせて選べる4モデル
位相検波以降のデジタル処理により、高い安定度を実現。最高100dB の優れたダイナミックリザーブ、更新レート約1.5Mサンプル/s（LI5660/LI5650、LI5650/LI5645は約780kサンプル/s）、振幅分解能16ビットの高速で滑らかな出力応答、微小信号測定の信頼性を高める基本性能を網羅しました。
LI5660は最高測定周波数11MHz（HF 入力端子装備）、LI5655が3MHzと従来機種に比べ、高周波領域をカバー。LI5650/LI5645 は、1mHzの低周波から250kHzの測定に対応します。さらに2周波数同時測定* や分数調波測定などの新機能を搭載し、さまざまな応用分野の高度な測定ニーズに対応します。
- LI5645は除く
- 周波数範囲
LI5660：0.5Hz～11MHz（HF入力端子使用時）
LI5655：0.5Hz～3MHz
LI5650 / LI5645：1mHz～250kHz - 電圧測定
LI5660：10nV～10V F.S.（C入力端子使用時）
LI5655 / LI5650 / LI5645：10nV～1V F.S. - 電流測定
LI5660 / LI5655 / LI5650：10fA～1μA F.S. - 最小時定数
LI5660 / LI5655：1μs
LI5650 / LI5645：5μs
- アナログ出力更新レート
LI5660 / LI5655: 約1.5 M サンプル／秒
LI5650 / LI5645: 約780k サンプル／秒 - 2周波数同時測定（LI5660 / LI5655 / LI5650）
2位相検波器を2系統装備し、2つの周波数成分を同時測定 - 分数調波測定
基本波の分数倍の周波数（1～63）／（ 1～63）で測定 - 外部10MHz同期入力
外部基準周波数を用いて、他の機器の周波数基準と同期可能 - 測定パラメータ
X, Y, R, θ, DC, NOISE - 通信インタフェース
USB、GPIB、RS-232、LAN - 薄型2Uサイズ（88mm）
ラインナップ
○：装備あり －：装備なし
横スクロールできます→
| LI5660 | LI5655 | LI5650 | LI5645 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 周波数範囲 | 0.5Hz～11MHz | 0.5Hz～3MHz | 1mHz～250kHz | ||
| 信号入力 | 電圧（A, A-B, C, HF）、電流 | 電圧（A, A-B）、電流 | 電圧（A, A-B） | ||
| 10V 入力 | ○（C入力端子、0.5Hz～3MHz） | － | |||
| 高周波入力 | ○（HF入力端子、10kHz～11MHz） | － | |||
| 感 度 | A, A-B: 10nV～1V F.S (0.5Hz～3MHz) C: 1mV～10V F.S (0.5Hz～3MHz) HF: 1mV～1V F.S (10kHz～11MHz) I: 10fA～1μA F.S. |
10nV～1V F.S (0.5Hz～3MHz) 10fA～1μA F.S. |
10nV～1V F.S (1mHz～250kHz) 10fA～1μA F.S. |
10nV～1V F.S (1mHz～250kHz) － |
|
| 入力換算雑音 | 4.5nV/√Hz (参考値) | ||||
| PSD (位相検波) | 2位相・2周波数 | 2位相・1周波数 | |||
| ダイナミックリザーブ | 100dB | ||||
| 時定数 | 1μs～50ks | 5μs～50ks | |||
| 出力更新レート | 約1.5M サンプル/ 秒 | 約780k サンプル/ 秒 | |||
| 2周波数同時測定 | ○ | － | |||
| 分数調波測定 | ○ 基本波の (1～63)／(1～63) | ||||
| 外部10MHz 同期 | ○ | ||||
| 測定パラメータ | X, Y, R, θ, DC, NOISE | ||||
| 外部制御 | USB, GPIB, RS-232, LAN | ||||
各部の紹介
フロントパネル
リアパネル
特長
高速応答・高安定度
時定数
検波部の最小時定数は、LI5660 / LI5655で1μs（LI5650 / LI5645は5μs）です。
ロックインアンプ本体の性能向上により、高周波かつ高速応答を実現しました。
同期フィルタ
信号の整数周期の同期（移動平均）フィルタを搭載しています。この機能により検波に伴う測定信号のリプルを低減できます。同期フィルタは時定数フィルタとは独立した動作のため、時定数を大きくすることなくSN比を改善でき、結果として高速な応答を得られます。
低い周波数でも高速にロック
デジタル方式の採用により、低周波（数Hz以下）では、約2周期で参照信号にロックします。
優れたダイナミックリザーブ
位相検波とそれ以降の処理のデジタル化により、アナログ方式に比べて高ゲイン時の出力ドリフトが小さく、最高100dBのダイナミックリザーブが得られます。（信号フルスケールの100,000倍の雑音下で測定が可能です。）
広帯域
高周波入力端子により最高11MHz（LI5660）
電圧測定は、シングルエンド（A）および差動（A-B）入力に加え、LI5660 では10Vrms入力（C）、高周波入力（HF）の端子を装備しています。
HF入力端子では、最高11MHzの測定が可能です。
2周波数同時測定
2位相（Rcosθ、Rsinθ）、2系統（主検波器、副検波器）
- 2つの周波数成分を同時測定
- レシオ演算
- 位相検波器の縦続接続
LI5660 / LI5655 / LI5650 は、2位相検波器（PSD）を2系統装備し、1つの入力信号に含まれる2つの周波数成分を同時に測定できるので、従来なら2台のロックインアンプが必要だったデュアルビーム法などの測定が1 台で可能となります。また、測定値と基準値の比を求めるレシオ演算や、主検波器に副検波器を縦続接続して、信号を主検波器で検波後、さらに副検波器で検波することも可能です。
分数調波測定
基本波の分数倍の周波数（1～63）／（1～63）
基本波の分数倍の周波数で測定できます。LI5660 / LI5655 / LI5650 の2 周波モードでは、主検波器に与える参照信号周波数を主周波数のn/m 倍に、副検波器に与える参照信号周波数をn 倍または主周波数とは異なる値にして測定することも可能です。
高調波測定は2つの測定周波数の間が整数倍（f2=（f1×n））です。この場合、f1側の信号にひずみがあると整数倍の周波数（高調波）となり、f2 の信号と区別できなくなります。分数調波測定ならば、f2=f1×n/m の関係で測定できるので、f1にひずみが発生しても、f2 に影響のない周波数を設定でき、f1の高調波の影響を受けずにf2の高感度測定が可能となります。
検波モード一覧
横スクロールできます→
| 検波モード | 主検波器 | 副検波器 | 機能 |
|---|---|---|---|
| SINGLE* | 基本波／分数調波 | なし | 1周波数、2位相検波 |
| DUAL 1 | 基本波／分数調波 | 基本波／調波 | 1つの信号入力信号に含まれる基本波とその調波成分を同時測定 |
| DUAL 2 | 主周波数 | 副周波数 | 1つの入力信号に含まれる独立した 2つの周波数成分を同時測定 |
| CASCADE | 主周波数 | 副周波数 | 主検波器に副検波器を縦続接続 |
- LI5645 は2位相・1周波数につき、SINGLEモードのみ
外部10MHz同期
外部基準周波数を用いて、他の機器の周波数基準と同期可能
信号発生器など他の機器とロックインアンプを共通の10 MHz 周波数源に同期して動作させると、外部参照信号（REF IN）を用いずに、任意の周波数（数値設定）で同期できます。
アプリケーション
光透過量の測定（光源変動のキャンセル）
- デュアルビーム法
- レシオ測定
- 高調波の影響キャンセル
2周波数同時測定と分数調波測定の機能を併用すると、1台のロックインアンプで、デュアルビーム法（レシオ測定）による光源などの変動補正が可能です。
基準セルの信号で負帰還をかけて、光源強度を安定化することもできます。
参照信号周波数の整数倍（n 倍）、整数分の1（1/m 倍）、分数比（n/m 倍）を設定できるので、ライトチョッパの周波数比に柔軟に対応します。また、整数比の場合、信号ひずみにより発生する高調波成分との区別ができませんが、分数比では高調波の影響を受けません。さらに、10 MHz同期機能を用いて外部の信号発生器と同期すると、任意の2 周波数による検出も可能です。
ホール係数の測定（差周波数の測定）
- ホール電圧
- 電流
- 磁界
- クロストーク妨害
ホール電圧は、2 信号（電流と磁界）の積に比例し、その周波数は 2 信号の差（および和）周波数になります。
電流と磁界を発生する外部信号源とLI5600シリーズを外部 10 MHz に同期させた場合（実線）
異なる任意の 2 周波数に対して、外部参照信号（差周波数）を用意せずとも、差周波数信号の測定が可能となります。（2チャネル出力と周波数基準出力を装備した信号発生器を使用の場合など）
もとの周波数が整数比の場合（点線）
分数調波測定機能を利用して差周波数信号を測定することもできます。
どちらでも、外部参照信号からのクロストーク妨害を避けられます。
仕様
外形寸法
価格表
オプション情報
本体
LI5645 ディジタルロックインアンプ
¥660,000（税抜）
LI5650 ディジタルロックインアンプ
¥830,000（税抜）
LI5655 広帯域デジタルロックインアンプ
¥990,000（税抜）
LI5660 広帯域デジタルロックインアンプ
¥1,320,000（税抜）
付属品
- 取扱説明書 1
- CD-ROM（リモート制御用ドライバ、他 ） 1
- 電源コードセット（2m、3極プラグ付き） 1
- ヒューズ（タイムラグ、1.0A／250V、φ5.2×20mm） 1
- 保護キャップ（電流入力端子用）* 1
- LI5645は除く
オプション
PA-001-2779 ラックマウントキット（EIA）
¥14,000（税抜）
PA-001-2780 ラックマウントキット（JIS)
¥14,000（税抜）
ダウンロード
カタログ
本体取扱説明書
リモート制御取扱説明書
ファームウェア
LI5600シリーズ ファームウェアアップデート Ver.1.80
公開日 2021年09月29日
ドライバソフトウェア
LI5600シリーズ IVI計測器ドライバ Ver.1.0.4.0
公開日 2018年05月29日
LI5600シリーズ LabVIEWドライバ Ver.1.00
公開日 2019年12月20日