IoTセンサは、現実社会の情報をサイバー空間に送ることで、新しいサービスの創出に利用されつつある。しかし、各種分野にて活用するためにはセンサの高感度化・低消費電力化、エネルギー供給の自立化などの課題が残る。
本講演では、超高感度センサや、生体信号を取得するためのマイクロセンサの開発例を紹介する。また、IoTセンサのエネルギー自立化のためのスケーラブル熱電発電素子や、蓄電素子の開発にも取り組んでおり、温度差だけでなく、温度変化を利用して発電・給電が可能になった。さらに暗所など太陽光が使えない環境下でもIoTセンサを動作できることを実証した。
本講演では、ナノテクノロジーを利用した前述のデバイス製造、評価、応用に関して解説する。